铝铒合金靶材是以铝为基体,添加一定比例的铒元素。它属于一种高性能、高附加值的特种溅射靶材。起制备方法为真空熔炼-热机械加工法。主要用于半导体和微电子工业中的物理气相沉积(PVD)工艺。
2025-08-23
铝钕合金靶材是一种由铝与稀土元素钕为主所组成的高纯合金溅射靶材,具有耐腐蚀性,抗氧化性良好和延长靶材使用寿命。通过熔炼法制备,广泛用于磁控溅射、半导体、光伏太阳能及光学镀膜等领域提供高性能薄膜材料。
2025-08-15
铝钇合金靶材是一种由铝(Al)和钇(Y)两种金属元素组成的合金靶材,通过特定的制备工艺(熔炼法或者粉末冶金法)制成,主要用于在半导体、太阳能电池、光学镀膜等领域沉积功能性薄膜
2025-08-08
铝钛硅合金靶材是一种由铝、钛和硅三种元素组成的多组分合金靶材。具有高硬度,耐热性,抗氧化与耐磨性等特征。通过粉末冶金法得到具有不同性能的合金靶材。广泛应用于半导体、光学镀膜、显示面板及耐磨涂层等领域。
2025-07-25