硬质涂层用到的镀膜靶材有哪些
发布时间：2022-06-14 作者：材料类科研服务平台 阅读量：211
硬质涂层材料以其良好的耐磨、耐腐蚀和耐高温氧化等特性而被广泛应用于切削刀具、工模具和耐磨零部件等机械加工工业领域。硬质涂层的制备方法主要有物理气相沉积方法(PVD)和化学气相沉积方法(CVD)。后续我们还会降到硬质涂层用镀膜靶材的技术要求和制备方法，请持续关注我们的网站汇聚科研材料服务平台。
硬质涂层用镀膜靶材的种类
利用PVD技术制备硬质涂层所使用的靶材有很多种,根据材料的种类可以分为金属靶材、合金靶材和氧化物靶材;根据形状又可以分为长(方)体形靶材、圆柱体形靶材和不规则体形状靶材。根据硬质涂层材料的特点和应用领域,可以将靶材细分为二元硬质涂层、多元硬质徐层、氧化物涂层。
二元硬质涂层，TiN、CrN、TaN、ZrN、HIN等。
多元硬质徐层，TiAIN、CrAIN、TiBN、TIAI-SIN、TiAICrN、TiAICrSiN等。
氧化物涂层，Al2O3 、ZrO2、CrO3、TIO2等。
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