镍钴铬铝合金靶材定义、特性、制备方法和应用
发布时间：2026-01-31 作者：长沙鑫康新材料 阅读量：4
镍钴铬铝合金靶材是一种高性能的溅射靶材，由镍（Ni）、钴（Co）、铬（Cr）、铝（Al）等金属元素组成，通过特定工艺制备而成，广泛应用于多个领域。
镍钴铬铝合金靶材主要性能
耐高温性能卓越：在高温下（通常可达 1000°C 以上）能保持较好的强度，抵抗氧化和蠕变，可在高温环境下长期稳定工作。
耐腐蚀性出色：对氧化性环境、盐雾以及多种酸性和碱性介质都有很强的抵抗能力，能有效保护被涂层物体。
机械性能良好：具有高强度、高硬度，同时具备良好的抗疲劳和抗磨损能力，能承受一定的机械应力。
薄膜性能可控：通过物理气相沉积（PVD）工艺，可在相对较低温度的基底上沉积出与块体合金相近化学成分和优异性能的薄膜，满足不同应用场景对薄膜性能的要求。
镍钴铬铝合金靶材制备方法
原料准备：选用纯度≥99.95% 的 Ni、Co、Cr、Al 原料，按目标成分（如 Ni - 20-30% Co- 10-20% Al - 5-15% Co，质量分数）精确配料，去除表面氧化层与杂质。
真空感应熔炼：将原料置于真空感应熔炼炉，抽真空至≤10?3Pa，高频感应加热使原料熔化，电磁搅拌确保成分均匀，温度达 1500-1600℃时保温精炼。
浇铸成型：将均匀合金熔体浇铸到预热石墨 / 金属模具，控制冷却速率以减少成分偏析与缩孔，获得合金铸锭。
塑性加工：铸锭经 1100-1200℃均质化退火后，进行热锻（变形量 50-70%）、热轧 / 冷轧（总变形率 70-90%），细化晶粒、提升致密度。
热处理：真空 / 氩气保护下，800-900℃保温 2-4h 退火，消除加工内应力，优化组织均匀性。
机加工与精整：经车削、磨削、平面研磨至靶材尺寸，表面粗糙度 Ra≤0.8μm，适配溅射设备。
镍钴铬铝合金靶材应用领域
半导体制造：可用于制备半导体器件中的导电层和阻挡层，保障器件的电学性能和稳定性。
磁记录技术：能用于制造硬盘驱动器中的磁记录薄膜，提高磁记录的密度和可靠性。
航空航天：可用于制造航空发动机部件等的防护涂层，增强部件在高温、高腐蚀性环境下的使用寿命。
能源装备行业：用于燃气轮机叶片等高温部件的防护涂层，确保能源装备在恶劣工况下稳定运行。
镍钴铬铝合金应用领域
航空发动机与燃气轮机：热障涂层系统的粘结层，用于涡轮叶片、导向叶片、燃烧室等热端部件，极大延长其服役寿命。
工业燃气轮机：同样用于承受高温的部件，提升效率和可靠性。
腐蚀性环境下的高温部件：如化工、能源领域的高温反应装置部件。
高新技术领域：有时也用于半导体或特殊功能薄膜研究，但用量远小于热喷涂领域。
感谢您阅读镍铝铁硅合金靶材 定义、特性、制备方法和应用，希望大家能对镍钴铬铝合金靶材有更好的了解。如果您想了解更多关于金属科研材料的信息，请收藏我们的网站鑫康新材料科研服务厂家https://www.xk-materials.cn/。
[免责声明]本站文章部分为原创，其余仅做网络公开资料的翻译、归纳和整理，不属于商业用途，仅用于读者信息分享，供读者学习参考，不对文章内容的真实性、合法性、准确性、有效性、完整性等提供保证及负责，且不对读者提供任何投资及应用建议。本站尊重知识产权，因整理资料所需，文中引用部分有来源于第三方公开的数据、图片等内容的，如有版权的则其所属的知识产权归属原作者，本站文章凡有引用的内容均在文末标注了原文出处或者原作者，若版权所有者认为文章涉嫌侵权或其他问题，请联系我方（联系电话：0731-86393472）及时处理。本站提供技术方面的文章不用于商业仅供大家学习参考，力求数据严谨准确，但因受时间及人力限制，文章内容难免有所纰漏，如有重大失误失实，敬请不吝赐教批评指正。本站原创文章版权归本网站所有，转载请联系本站，本站拥有对此声明的终解释权。
