镍铬铝合金靶材定义、特性、制备方法和应用
发布时间：2025-12-10 作者：长沙鑫康新材料 阅读量：5
镍铬铝合金靶材是一种高性能的溅射靶材，属于镍基高温合金靶材的一种。具高温稳定性、抗氧化性和良好溅射性能的功能靶材，广泛应用于制备高温防护涂层、耐磨涂层、半导体薄膜及传感器电极等领域。其制备核心要求是成分均匀性、高致密度（≥98% 理论密度）、细晶微观结构及低杂质含量（O、C、N 等≤500ppm），以保证溅射过程中薄膜成分稳定、沉积速率均匀。
镍铬铝合金靶材主要性能
物理性能：以 80:20 的镍铬合金靶材为例，其密度约为 8.4g/cm3，熔点在 1400℃左右，热导率为 12W/(m?K)，热膨胀系数为 14.2×10??/K。
机械性能：室温硬度一般为 HRB 85-90，600℃时高温强度≥350MPa，具有优异的蠕变抗力和热疲劳寿命，可承受≥10000 次循环。
化学性能：具有良好的耐热性、抗氧化性和耐腐蚀性，能在高温环境下保持稳定的化学性质，不易被氧化和腐蚀。
镍铬铝合金靶材制备方法
原料准备：选用 4N5 以上纯度的 Ni、Cr、Al 单质粉，Cr 粉，按 Ni-(20–30 %)Cr-(5–10 %)Al（质量分数）配料，氩气保护下球磨 10–18 h，球料比 1:1–3，转速 300–400 r/min，得到均匀混合粉 。
预压成型：将混合粉装入石墨模具，在热压炉内以 0.1–0.3 MPa/min 升压至 6–10 MPa，保压 10–15 min，形成初坯 。
三段热压烧结
第一段：真空 ≤5 Pa，以 8–10 ℃/min 升温至 600–800 ℃，再 5–8 ℃/min 升至 800–1000 ℃，保温 30–60 min，压力＜1 MPa，完成脱气与初烧；
第二段：4–5 ℃/min 升温至 1000–1100 ℃，升压 6–10 MPa，保温保压 30–60 min，促进合金化；
第三段：2–3 ℃/min 升温至 1100–1200 ℃，以 0.25–0.35 MPa/min 升压至 30–40 MPa，保温保压 90–150 min，实现全致密（相对密度＞99 %）并细化晶粒，形成接近理论密度的锭坯。
后续加工： 对锭坯进行均匀化热处理，以消除微观成分偏析，使组织更均匀。将锭坯通过锻造、轧制等热加工进一步改善组织（可选），然后进行线切割、车、铣、磨等精加工，得到终尺寸和表面粗糙度的靶材。
镍铬铝合金靶材应用领域
航空航天领域：可作为航空发动机热障涂层粘结层、涡轮叶片高温防护涂层等，能提高部件的抗热腐蚀能力，延长其耐热寿命。
能源装备行业：用于燃气轮机叶片防护涂层、核电设备高温部件保护、火力发电锅炉管道防护等，保障能源设备在高温环境下稳定运行。
电子工业领域：可用于制备电阻薄膜、电子元件保护层等，利用其高电阻率和稳定的物理化学特性，满足电子元件的性能要求。
工业装备制造领域：可作为热处理炉辊道防护涂层、化工反应器耐热内衬、玻璃模具表面强化等，提高工业装备的耐磨性和耐腐蚀性。
装饰领域：用于珠宝、手表、手机等产品的表面处理，形成美观的装饰性涂层，同时提供防护作用。
镍铬铝合金应用领域
航空航天：用途：用于喷涂发动机的涡轮叶片、燃烧室等热端部件。
能源工业：用于发电用的大型燃气轮机和蒸汽轮机叶片，提供高温防护。
汽车工业：用于高性能跑车和赛车的涡轮增压器叶片，以承受更高的废气温度。
感谢您阅读镍铬铝合金靶材 定义、特性、制备方法和应用，希望大家能对镍铬铝合金靶材有更好的了解。如果您想了解更多关于金属科研材料的信息，请收藏我们的网站鑫康新材料科研服务厂家https://www.xk-materials.cn/。
[免责声明]本站文章部分为原创，其余仅做网络公开资料的翻译、归纳和整理，不属于商业用途，仅用于读者信息分享，供读者学习参考，不对文章内容的真实性、合法性、准确性、有效性、完整性等提供保证及负责，且不对读者提供任何投资及应用建议。本站尊重知识产权，因整理资料所需，文中引用部分有来源于第三方公开的数据、图片等内容的，如有版权的则其所属的知识产权归属原作者，本站文章凡有引用的内容均在文末标注了原文出处或者原作者，若版权所有者认为文章涉嫌侵权或其他问题，请联系我方（联系电话：0731-86393472）及时处理。本站提供技术方面的文章不用于商业仅供大家学习参考，力求数据严谨准确，但因受时间及人力限制，文章内容难免有所纰漏，如有重大失误失实，敬请不吝赐教批评指正。本站原创文章版权归本网站所有，转载请联系本站，本站拥有对此声明的终解释权。
