镍钼合金靶材定义、特性、制备方法和应用
发布时间：2025-11-28 作者：长沙鑫康新材料 阅读量：4
镍钼合金靶是一种由镍和钼组成的高性能溅射靶材，具有优异的耐腐蚀性，高强度和良好的机械性能。广泛应用于物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）工艺中。
镍钼合金靶材主要性能
高密度与细晶粒：相对密度不低于 98.5％，晶粒尺寸不大于 30μm，这使得合金靶材具有良好的致密度和均匀性，有利于提高溅射镀膜的质量。
优异的耐腐蚀性：镍钼合金具有良好的耐腐蚀性，尤其是在还原性介质中表现出色，如在各种温度和浓度的盐酸溶液，以及中等浓度的硫酸溶液（或含有一定量氯离子）中，都有较好的抗腐蚀能力。
良好的力学性能：钼的加入可提高合金的硬度、强度和耐高温性能，使其在高温环境下仍能保持较好的机械性能。
独特的电磁性能：一些镍钼合金靶材具有优异的电磁性能，如镍铁钼锰合金靶材在 HiPIMS 工艺中可实现薄膜磁导率 > 10,000@1kHz，具有巨磁阻抗效应等。
镍钼合金靶材制备方法
原料准备：选用高纯度镍粉（纯度≥99.95%）和钼粉（纯度≥99.95%），按目标合金成分（如 Ni-10Mo、Ni-20Mo 等）精确称重配料。
成型：常用冷等静压成型，将混合粉末装入弹性模具，在 150-200MPa 压力下压制，获得具有一定强度的素坯。将素坯放入真空或氢气保护炉中，在 1000-1200℃下预烧，去除粉末间隙气体，初步形成合金相，提高素坯致密度。
热压烧结：真空环境下，1200-1400℃温度、30-50MPa 压力下保温 2-4 小时，通过高温高压促进颗粒结合。
将烧结后的坯料加工成客户要求的精确尺寸和形状，并保证与背板的焊接面具有极高的平整度和光洁度。
镍钼合金靶材应用领域
薄膜太阳能电池：它通常被用作CIGS（铜铟镓硒）薄膜太阳能电池的背接触层。
半导体领域：可用作扩散阻挡层，防止不同金属层之间（如铜互连和硅衬底之间）的相互扩散，避免形成有害的硅化物或导致电路短路。
装饰与防护涂层：由于其优异的耐腐蚀和耐磨性能，镍钼合金薄膜可以沉积在手表、眼镜、卫浴五金、汽车零部件等表面，既提供保护，也赋予产品特定的金属光泽和外观。
耐腐蚀涂层：在化工、海洋工程、医疗器械等领域，为关键部件提供一层耐化学腐蚀和耐磨损的屏障。
镍钼合金应用领域
化学过程工业：用于制造耐纯盐酸、硫酸、磷酸、醋酸及多种非氧化性有机酸介质的反应釜、蒸发器、换热器、和阀门等关键设备
石油化工与能源：煤液化、天然气净化、甲醇合成等流程中的高温高压换热器和反应容器
航空航天与高温结构：航空发动机燃烧室、加力喷管、导弹壳体及航天器高温承力部件
海洋工程与船舶：海洋平台钻井泵、阀门及高压管路系统，可长期抵抗含砂海水和微生物腐蚀
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