铝镁合金靶材定义、特性、制备方法和应用
发布时间：2025-06-16 作者：长沙鑫康新材料 阅读量：47
铝镁合金靶材优点：
轻量化：铝镁合金密度低，适合需要减重的应用场景。
高比强度：强度与重量比优于纯铝或纯镁。
耐腐蚀性：镁的加入可提升铝的抗氧化和耐腐蚀性能。
良好导电/导热性：适合电子器件中的导电或散热涂层。
铝镁合金靶材制备方法
原料准备：选用纯度≥99.99%的铝（Al）和镁（Mg）颗粒或锭材，根据靶材成分要求（如Al-Mg 50/50 at.%或其它比例），精确称量原料，考虑镁的烧损（通常额外添加1-3% Mg补偿熔炼损失）。
熔炼与合金化：将铝放入真空感应熔炼炉或电弧熔炼炉中，抽真空至≤10-3 Pa后充入高纯氩气保护。加热至700-800℃使铝完全熔化后，加入镁块（镁的熔点较低，约650℃），搅拌促进均匀混合。再加入精炼剂去除熔体中的气体和夹杂物，静置后扒渣。
铸造成型：使用预热后的石墨模具或铜模（水冷），确保快速凝固以减少成分偏析。将熔融合金浇注至模具中，控制冷却速率。
热机械加工：将铸锭加热至300-400℃进行多道次轧制，总变形量≥70%。若存在孔隙，在高温高压（如500℃/100MPa）下致密化处理。
机加工：车削/铣削至接近靶材尺寸。
铝镁合金靶材应用领域
电子工业：用于半导体、显示器的导电薄膜或阻挡层。
光学镀膜：用于制备反射镜、滤光片等，镁的加入可调节膜层的折射率和稳定性。
半导体：作为电极或阻挡层材料，尤其适合对轻量化要求高的器件。
显示技术：用于OLED或LCD的电极镀膜，改善导电性和柔韧性。
防腐涂层：在航空航天或汽车部件表面形成耐腐蚀保护层。
新能源：锂离子电池集流体或固态电池界面层的制备。
铝镁合金应用
航空航天领域：飞机结构件与发动机零部件。
汽车制造领域：车身与发动机部件，底盘零部件。
电子领域：电子设备外壳，散热器。
交通运输领域：船舶制造，铁路车辆。
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