高纯3N(99.9%) 铁镍钼钨合金靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!
元素 : FeNiMoW
纯度 : 99.9%
形状 : 平面靶材
包装 : 真空包装、纸箱、木箱
所有订单均提供正式发票,另外依据客户需要提供正式报价单和合同
市场参考价格:¥2160.00/Pc左右,价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!
产品名称: 铁镍钼钨(FeNiMoW) 合金靶材
纯度:3N
尺寸: D76.2x3mm 或者 按图纸定制

铁镍钼钨合金靶材是一种由铁(Fe)、镍(Ni)、钼(Mo)和钨(W)等多种元素组成的高性能特种合金材料。该靶材通常通过添加钨、钼等元素来强化基体,兼具优异的耐高温性能、抗蠕变能力以及耐腐蚀性。在半导体制造、平板显示及航空航天等领域具有广泛的应用价值。
铁镍钼钨合金靶材核心特性
成分体系:以铁和镍为基体,其中镍提供奥氏体基体的稳定性及耐蚀性;钼和钨作为关键强化元素,通过固溶强化显著提升材料的高温强度、抗变形能力及耐腐蚀性能。
高温稳定性:能够在600°C以上的极端环境中长期稳定工作,保持较高的抗拉强度和抗蠕变性能。
耐腐蚀性:在酸性或含硫介质中表现优异,能够抵抗强酸、强碱及腐蚀性气体的侵蚀。
物理参数:密度通常在8.3~8.6 g/cm3之间,熔点约在1400°C~1450°C左右,且具备适应高温部件热匹配需求的热膨胀系数。

铁镍钼钨合金靶材制备工艺
原料准备与混粉:选用高纯度的钨、钼、铁、镍等金属粉末,按目标合金成分精确称重并混合均匀。
冷等静压成型:将混合好的粉末装入弹性模具中,在室温下施加高压(如150-200MPa),使粉末颗粒压实粘结成具有一定强度的素坯。
热等静压/真空热压:在真空或惰性气体保护下对素坯进行高温高压处理。这能激活材料内部的扩散和蠕变现象,消除孔隙,大幅提高材料的致密度,并使晶粒变得细小均匀。
挤压与退火:对致密化后的坯料进行挤压成型以获得所需形状,随后进行退火处理以消除内应力,改善塑韧性。
机械加工与背板焊接:通过线切割、铣削等手段将靶材加工至精确尺寸。
电子与半导体:用于集成电路制造中的薄膜沉积、电阻及磁性存储器件的磁性薄膜,起到导电阻挡、扩散阻挡等作用,提升芯片性能和可靠性。
平板显示器:作为薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)和有源矩阵有机发光二极体(AMOLED)面板的关键耗材,用于制造导电层和电极部件。
表面涂层与防腐工程:通过磁控溅射等物理气相沉积技术,为工件表面提供耐磨、耐腐蚀的功能性涂层,延长设备在苛刻环境下的使用寿命。
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