高纯3N(99.9%)铁镓合金靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!
元素 : FeGa
纯度 : 3N
形状 : 平面靶材
包装 : 真空包装、纸箱、木箱
所有订单均提供正式发票,另外依据客户需要提供正式报价单和合同
市场参考价格: ¥2400.00/件。价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!
名称: 铁镓(FeGa)合金靶材
纯度:99.9%
规格: D50.8x2mm 或者定制

铁镓合金靶材(Fe-Ga)是一种兼具高磁致伸缩、高韧性与易加工的功能合金溅射靶材,核心用于沉积磁致伸缩薄膜与磁性功能层,是精密传感、驱动与微纳电子的关键材料。
铁镓合金靶材的特性与优势
磁致伸缩性能:饱和磁致伸缩系数300–350 ppm,低场(<100 Oe)高灵敏度,能耗比传统材料低约 50%。
力学性能:屈服强度≥500 MPa,韧性好、不易脆裂,可车 / 铣 / 磨加工,远优于稀土磁致伸缩合金(如 Terfenol‑D)。
磁性能:软磁特性,低矫顽力、高磁导率,响应快(微秒级)。
稳定性:**-50℃至 150℃** 性能波动<5%,热稳定性好,适合高温 / 宽温工况。
成膜性:溅射沉积速率稳定,薄膜成分均匀、致密度高,适配半导体与 MEMS 精密工艺。

铁镓合金靶材制备方法
原料准备与混合:首先,根据目标性能确定铁(Fe)和镓(Ga)的精确比例(例如常见的Fe₈₁Ga₁₉)。使用高纯度的金属粉末作为原料,通过严格的筛选和混合工艺,确保粉末粒度和混合的均匀性,这对后续的烧结致密度至关重要。
成型与烧结:将混合均匀的粉末通过冷压等方式初步成型。随后,在高温和真空或惰性气氛下进行烧结。这个过程会使粉末颗粒结合、致密化,形成坚固的靶材坯体。
后处理与加工:烧结后的坯体可能需要经过热处理(如退火)来释放内部应力、控制晶粒尺寸。后,通过机械加工(如线切割、磨削、抛光)将坯体加工成符合尺寸和表面粗糙度要求的终靶材。
铁镓合金靶材应用
半导体 / 光学镀膜:磁控溅射沉积 Fe‑Ga 薄膜,用于磁电子学、自旋电子学、数据存储、微机电系统(MEMS)。
MEMS微执行器与传感器:利用Fe-Ga薄膜的磁致伸缩效应,将磁场转化为微位移,用于微镜、微泵、微阀等。
声表面波(SAW)器件:作为磁致伸缩功能层,与压电薄膜集成制备磁声传感器。
铁镓合金靶材是高性能、高性价比、易加工的磁致伸缩功能材料,以 Fe83Ga17为优配比,兼具高磁致伸缩、高韧性与宽温稳定性,广泛用于精密传感、驱动、半导体镀膜与智能材料系统,是替代稀土磁致伸缩材料的理想选择。
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