高纯3N5(99.95%)镍铝铁硅靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!
元素 : NiAlFeSi
纯度 : 3N5
形状 : 平面靶材
包装 : 真空包装、纸箱、木箱
所有订单均提供正式发票,另外依据客户需要提供正式报价单和合同
市场参考价格: ¥3200/件。价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!
名称:镍铝铁硅(NiAlFeSi)合金靶材
纯度:99.95%
规格:D449.9x 3.0mm 或者定制
镍铝铁硅合金靶材是一种由镍(Ni)、铝(Al)、铁(Fe)、硅(Si)四种主要元素按特定比例构成的溅射靶材。它属于高端精密合金靶材,主要用于物理气相沉积(PVD)工艺,特别是磁控溅射,通过在真空环境中被高能粒子轰击,将合金原子溅射出来并沉积在基片(如玻璃、硅片、金属等)表面,形成一层具有特定功能的薄膜。

镍铝铁硅合金靶材主要特征
优异的耐腐蚀与抗氧化性:得益于铝的添加,所制备的薄膜在高温和恶劣环境下能形成保护性氧化层,性能远超纯镍膜。
良好的机械性能:合金强度、硬度高于纯镍,耐磨性更好,薄膜附着力强。
可调节的热性能:通过调整铁、硅含量,可以匹配不同基材的热膨胀系数,减少因热应力导致的薄膜开裂或脱落。
稳定的溅射性能:合金靶材通常比纯金属靶材具有更低的溅射速率,但成膜成分均匀、稳定,工艺重复性好。

镍铝铁硅合金靶材制备方法
通常采用熔炼法制备,将纯度较高的镍、铝、铁、硅等金属原料按一定比例混合后,在高温熔炉中熔炼,经过精炼、浇铸等工艺制成靶材坯料,然后再通过机械加工、热处理等工艺进一步提高靶材的性能和尺寸精度。
镍铝铁硅合金靶材应用领域
航空航天发动机:在涡轮叶片上,先溅射一层NiAlFeSi薄膜作为粘结层,然后再涂覆陶瓷隔热层(如氧化钇稳定氧化锆,YSZ)。该粘结层不仅为陶瓷层提供良好的附着力基底,更能保护下方的超级合金基体免受高温氧化和热腐蚀,极大延长发动机叶片寿命。
工业燃气轮机:用于发电、舰船等燃气轮机的高温部件防护涂层,提高效率和可靠性。
高性能工具与部件:用于需要耐高温磨损、耐腐蚀的精密工具、模具或关键机械部件的表面强化。
半导体与显示技术:作为扩散阻挡层或导电膜的组成部分,用于先进半导体器件或显示面板。其优异的稳定性和可控的电阻率是潜在优势。
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