高纯3N（99.9%）镍硅靶材，价格以当日报价为准，需联系销售报价！！！
元素 ： NiSi
纯度 ： 3N
形状 ： 平面靶材
包装 ： 真空包装、纸箱、木箱
所有订单均提供正式发票，另外依据客户需要提供正式报价单和合同
市场参考价格： ¥800.00/件。价格仅供参考，如有需要，请咨询报价，以当日报价为准！
名称：镍硅（NiSi）合金靶材
纯度：99.9%
规格： D 15X150mm 或者定制
镍硅合金靶材（NiSi）是一种以镍（Ni）和硅（Si）为主要成分的高温合金靶材，通常纯度可达99.9%（3N）以上 。它兼具镍的导电、导热性能和硅的半导体特性，因此既被视为“高温合金”，也被用作功能薄膜的溅射源 。
镍硅合金靶材主要特征
低电阻率：形成的镍硅化物（特别是NiSi相）具有较低的电阻率，是集成电路中制造欧姆接触和局部互连线的理想材料。
良好的热稳定性：能够在后续的芯片制造高温工艺中保持结构和性能的稳定。
优异的附着性：与硅基片、二氧化硅等介质层附着牢固，不易剥落。
可控的硅化物反应：镍是硅化物形成金属中反应温度低的金属之一。通过控制热处理工艺，可以精确地形成所需的硅化物相（如Ni2Si, NiSi），这对于制造纳米级晶体管至关重要。
较低的应力：相较于其他一些金属薄膜，镍硅合金薄膜的内应力较小，有助于提高器件的可靠性。
镍硅合金靶材制备方法
原料准备：使用高纯度的镍和高纯度硅作为初始原料。根据目标合金相（如镍硅90/10 at%， 80/20 at%）进行精确的化学计量计算。
真空熔炼：将配好的镍和硅原料放入坩埚（常用水冷铜坩埚），通过电磁感应产生涡流加热，使原料完全熔化并形成合金液。在真空和高温下，一些气体杂质（如H、O、N）会逸出。同时，电磁感应效应会对熔融金属产生强烈的搅拌作用，这有助于化学成分的均匀化。将均匀的合金液浇注到预热的铜模中，冷却后得到镍硅合金铸锭。
均匀化热处理：将铸锭放入真空或保护气氛（如氩气）的热处理炉中，在低于其固相线温度下进行长时间保温（例如，在1000-1200°C保温数十小时）。
热机械加工（热锻/热轧）：将均匀化处理后的铸锭加热到其再结晶温度以上（例如，800-1000°C），然后进行热锻或热轧。
机加工：将热加工后的坯料通过车削、铣削、磨削等精密机加工手段，加工成终靶材要求的标准尺寸和形状。
镍硅合金靶材应用领域
半导体行业：是先进 CMOS 技术中的关键材料，用于形成低电阻率的硅化物层，制作集成电路中的电极和互连薄膜，确保电路信号的稳定传输。
电子器件：可用于生产薄膜电阻器，其具有稳定的电阻值和低温度系数，能满足高精度电子电路的要求。
太阳能行业：应用于太阳能电池的薄膜结构中，如电极和反射层，有助于提高光伏转换效率。
涂层领域：通过溅射工艺，在产品表面沉积镍硅合金薄膜，可提供金属光泽和特定颜色，增强产品的美观性和耐磨性，也可用于刀具涂层，提高刀具的硬度和使用寿命。
