高纯3N(99.9%)镍锰靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!
元素 : NiMn
纯度 : 3N
形状 : 平面靶材
包装 : 真空包装、纸箱、木箱
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镍锰合金靶材(常见的是镍锰比例为50:50 at%,即NiMn合金)是制备磁性多层膜、自旋电子学器件等功能薄膜的关键原材料。目前工业上主流的制备方法是粉末冶金法,通过 “粉末制备 - 成型 - 烧结 - 后续加工”四个关键步骤,将金属粉末转化为高密度、低杂质的靶材。
镍锰合金靶材主要特征
良好的导电性和导热性:镍和锰的组合赋予了靶材较高的热导率,使其在溅射过程中能有效散热,保证溅射过程的稳定性。
优异的磁性能:具有优良的磁性,适用于磁性存储媒体、磁性传感器等磁性相关的薄膜应用。
高纯度和均匀性:通过先进的制备工艺,可使靶材具有高纯度、成分均匀、组织致密等特点,确保在薄膜沉积过程中能提供稳定的元素供应,从而获得性能一致的薄膜。

镍锰合金靶材制备方法
原料准备:选取高纯度(通常≥99.9%)的镍粉和锰粉,根据靶材设计成分(如 Ni-Mn 1:1、Ni-Mn 3:1 等)精确称量。
成型工艺:将混合好的粉末装入模具,通过冷等静压(CIP)施加高压(通常 100-300MPa),将粉末压制成具有一定强度和密度的 “生坯”(密度约为理论密度的 60%-80%)。
烧结工艺:将生坯放入真空烧结炉或惰性气体保护炉(如氩气),在高温(800-1100℃)下保温数小时。
加工:对烧结后的坯体进行机械加工,包括切割、磨削、抛光等,将其加工成符合尺寸要求的靶材。
镍锰合金靶材应用领域
微型制动器:利用其磁致伸缩或形状记忆效应,制造微泵、微阀门、微镜等,通过控制磁场或温度来实现微米/纳米级别的精确运动。
数据存储:镍锰合金可以作为反铁磁钉扎层的关键材料,用于固定相邻铁磁层的磁化方向,这是制造高密度、非易失性MRAM芯片的核心技术之一。
功能性与防护性涂层:由于其高硬度和耐磨性,可用于切削工具、精密零部件表面的涂层,提高其使用寿命。
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