高纯2N5(99.5%)氮化锆陶瓷靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!
元素 : ZrN
纯度 : 2N5
形状 : 平面靶材
包装 : 真空包装、纸箱、木箱
所有订单均提供正式发票,另外依据客户需要提供正式报价单和合同
市场参考价格:¥2760.00/Kg左右,价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!
产品名称:氮化锆(ZrN)靶材
纯度:2N5
规格:D100*3 或者按规格定制
氮化锆靶材是以氮化锆(ZrN)为主要成分的功能材料,通过物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)等工艺制备薄膜或涂层的核心原料,主要用于装饰镀膜、半导体、光学和工具涂层等领域。
氮化锆材料的基本特性
要理解靶材的用途,首先要了解它形成的薄膜所具有的优异性能:
高硬度与耐磨性:ZrN的显微硬度可达~2000 HV以上,远高于许多传统材料,能极大提高工件的抗磨损能力。
优异的化学稳定性:耐腐蚀、耐氧化,在高温下也能保持较好的稳定性。
低摩擦系数:表面光滑,摩擦系数低,适合用于需要减少摩擦的场合。
迷人的金黄色:ZrN薄膜呈金黄色,颜色与黄金相似,美观且不易变色,具有很好的装饰效果。
良好的导电性:与一般的陶瓷不同,ZrN具有一定的导电性,这在某些应用中是必需的。
氮化锆靶材的制造工艺
步骤:将高纯度的锆金属粉末与氮气在高温高压下进行反应合成(或使用预合成的氮化锆粉末),得到氮化锆粉末。
成型:将粉末装入模具中,通过冷等静压(CIP)或模压成型得到初步的靶坯。
烧结:在高温(通常远低于熔点)、保护气氛(如氮气或氩气)或真空环境下进行热压(HP)或热等静压(HIP)烧结。热等静压能生产出密度高(可达99%以上理论密度)、微观结构均匀的靶材,性能佳,但成本也高。
氮化锆靶材应用领域
装饰镀膜:用于手表、珠宝、五金等产品表面,形成金色仿金涂层,比氮化钛(TiN)更耐腐蚀、颜色更偏暖金。
半导体与电子器件:作为扩散阻挡层或电极材料,用于铜互连、DRAM 电容等结构中。
光学镀膜:用于制备高折射率薄膜,如增透膜、反射膜,在镜头、激光器件中应用。
工具涂层:提高刀具、模具的硬度与耐磨性,延长使用寿命。
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