高纯3N(99.9%) 铝钬合金靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!
元素 : AlHo
纯度 : 3N
形状 : 平面靶材
包装 : 真空包装、纸箱、木箱
所有订单均提供正式发票,另外依据客户需要提供正式报价单和合同
铝钬合金靶材是一种高性能的铝钬稀土金属合金溅射靶材,主要用于磁控溅射、脉冲激光沉积等物理气相沉积(PVD)工艺,以在各类基板上制备具有特殊功能的薄膜材料。
铝钬合金靶材性能特点
高耐热性: 钬的加入能显著提高铝基体的再结晶温度和热稳定性。钬与铝形成稳定的金属间化合物(如AlHo?),这些化合物能有效钉扎晶界,抑制高温下晶粒长大,使薄膜在高温环境下仍能保持优异的性能。
优异的阻隔性能: 铝钬合金薄膜具有非常致密、细小的晶粒结构,能有效阻挡水分、氧气、氢等气体的渗透,以及铜、硅等元素的相互扩散。
良好的电学性能: 相比于纯铝,铝钬合金薄膜具有更高的电阻率,但其导电性仍远优于高电阻率的阻挡层材料(如氮化钽TaN),在需要一定导电性的应用中是一个优势。
高硬度与耐磨性: 金属间化合物的存在使薄膜的机械性能得到增强,硬度更高,更耐磨。
铝钬合金靶材制备方法
真空电弧熔炼:在惰性气氛或真空下熔炼高纯铝与钬,避免氧化夹杂。
热机械处理:通过热轧、退火等工艺消除内应力,提升靶材的均匀性和机械强度。
精密加工:可制成平面靶(圆盘、方形)或旋转管靶,尺寸与形状按需定制(如直径100-300mm,厚度3-6mm)。
铝钬合金靶材主要应用领域
半导体与微电子领域:作为阻挡层(Barrier Layer) 或籽晶层(Seed Layer) 材料。
光学镀膜领域:用于沉积特殊的光学涂层,例如激光晶体镀膜(特别是钬激光器相关)、红外光学元件和高级装饰镀膜。
表面工程与防腐涂层:在精密部件上沉积一层薄而致密的铝钬合金薄膜,可以显著提高其在高湿、高盐或高温环境下的耐腐蚀性能和使用寿命。
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