高纯3N（99.9%） 铝铒合金靶材，价格以当日报价为准，需联系销售报价！！！
元素 ： AlEr
纯度 ： 3N
形状 ： 平面靶材
包装 ： 真空包装、纸箱、木箱
所有订单均提供正式发票，另外依据客户需要提供正式报价单和合同
市场参考价格：¥3250.00/Pc左右，价格仅供参考，如有需要，请咨询报价，以当日报价为准！
产品名称： 铝铒 （AlEr 62.5/37.5at%）合金靶材
纯度：3N
尺寸： D50.8x3mm 或者 按图纸定制
铝铒合金是以铝为基体，添加一定比例的铒元素。铒的原子百分比通常在 1% - 50% 之间，余量为铝。它属于一种高性能、高附加值的特种溅射靶材，主要用于半导体和微电子工业中的物理气相沉积（PVD）工艺。
铝钇合金靶材性能特点
优异的抗电迁移性能：这是铝铒合金靶材核心、重要的优势。
良好的热稳定性：铒的添加可以细化晶粒，提高铝薄膜的再结晶温度，使其在后续的半导体工艺（如退火）中保持更稳定的微观结构，防止薄膜性能退化。
较低的接触电阻：当用于硅器件的接触孔时，铝铒合金相比其他一些阻挡层材料，能与硅形成良好的欧姆接触，且电阻较低。
与现有工艺兼容：铝铒合金的溅射工艺与传统的纯铝溅射工艺非常相似，无需对现有的生产设备进行重大改造，易于集成到生产线中。
铝铒合金靶材制备方法
粉末冶金法是将高纯铝粉和铒粉机械混合，经真空烧结、球磨、过筛等工序得到合金粉末，再通过冷等静压、真空烧结、热等静压等工艺制成靶材。
熔铸法则是将铝和铒按一定比例配料，在高温下熔化并充分搅拌均匀，然后浇注到模具中冷却成型，再经过均温处理、热轧制、退火及机械加工等工序制成靶材。
铝铒合金靶材应用
平板显示（FPD）??：在OLED或LCD显示屏的制造中，可用于沉积薄膜晶体管的栅极、源极和漏极。
光学镀膜：在红外窗口和激光薄膜中作为高反射或抗反射层材料。
能源器件：用于薄膜太阳能电池和锂电池的铝铒合金电极，增强循环稳定性。
