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铝硅铜(AlSiCu)合金靶材 ¥1350.00


高纯5N(99.999%) 铝硅铜合金靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!


元素 : AlSiCu     

纯度 : 4N     

形状 : 平面靶材     

包装 : 真空包装、纸箱、木箱     

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商品详情

市场参考价格:¥1350.00/Pc左右,价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!

产品名称: 铝硅铜 ( AlSiCu 98/1/1 wt% )合金靶材

纯度:4N

尺寸: D50.8x3mm 或者 按图纸定制


铝硅铜合金靶材主要由铝(Al)、硅(Si)和铜(Cu)三种元素组成。通过调整成分比例(常见比例为 Al-Si-Cu(如Al-1%Si-0.5%Cu)),可优化其导电性、热稳定性和机械性能。广泛应用于微电子、光学镀膜、显示技术等领域。


铝硅铜合金靶材性能特点
良好的导电性:铝、硅、铜三种元素的结合使得合金靶材具有优异的导电性能,能够满足电子器件等领域对高导电材料的需求,可用于制造集成电路中的金属互连线等。
高耐腐蚀性:硅和铜的加入增强了铝的耐腐蚀性,使其能够在恶劣的环境条件下长期使用,不易被氧化或腐蚀,提高了镀膜产品的稳定性和使用寿命。
抗电迁移能力强:在电流作用下,金属离子会发生迁移,而铝硅铜合金靶材中铜的存在大大提高了其抗电迁移能力,减少了因电迁移导致的薄膜失效问题,提高了电子器件的可靠性。
良好的热稳定性:可以在较高温度下保持稳定的性能,不会因温度变化而发生明显的变形、开裂或性能下降等问题,适用于高温镀膜工艺和在高温环境下工作的器件。
优异的加工性能:具有良好的可塑性和可加工性,易于进行锻造、轧制、切割、研磨等加工工艺,能够制成各种形状和尺寸的靶材,满足不同应用场景的需求。


铝硅铜合金靶材


铝硅铜合金靶材制备方法
原料准备:根据应用需求(如半导体、显示镀膜)确定Al、Si、Cu的比例(例如Al-1%Si-0.5%Cu,重量百分比)。需严格控制杂质含量(如Fe、O等)。
熔炼与合金化:在真空或惰性气体(Ar)保护下熔炼,防止氧化。先熔化铝和铜,再加入硅(硅熔点高,需高温或预合金化)。电磁搅拌确保成分均匀,熔炼温度控制在800~1000℃。将熔融合金浇入预热(200~300℃)的金属模具中,形成铸锭。
退火工艺:铸锭在500~550℃下保温12~24小时,消除成分偏析,改善组织均匀性。
成型:铸锭加热至400~500℃进行热轧或锻造,逐步变形至所需厚度。


铝硅铜溅射靶材


铝硅铜合金靶材应用
半导体制造:用于集成电路互连线、焊盘镀层,替代纯铝以提高可靠性。
平板显示:液晶(LCD)或OLED面板的电极镀膜,增强导电性和耐腐蚀性。
光学涂层:制备反射镜或装饰性镀层。
耐磨涂层:因其良好的耐磨性,可用于工具、轴承等表面镀膜。