高纯3N(99.9%) 铜铬锆合金靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!
元素 : CuCrZr
纯度 : 3N
形状 : 平面靶材
包装 : 真空包装、纸箱、木箱
所有订单均提供正式发票,另外依据客户需要提供正式报价单和合同
市场参考价格:¥550/件左右,价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!
产品名称: 铜铬锆(CuCrZr) 合金靶材
纯度:3N
规格:D50.8x3mm ,D75x100mm 或者规格生产
铜铬锆合金靶材(Cu-Cr-Zr Target)是一种结合了高导电性、高强度和优异耐热性能的功能性靶材,广泛应用于半导体、薄膜沉积、电子封装和功能涂层等领域。
铜铬锆合金靶材性能优势
高纯度:纯度通常≥99.95%,减少杂质对薄膜性能的影响。
致密结构:通过热等静压(HIP)或热轧工艺制备,密度接近理论值(≥98%)。
优异薄膜质量:溅射后的薄膜具有低电阻率、高附着力和均匀性。
铜铬锆合金靶材制备工艺
粉末冶金法:将高纯度铜、铬、锆粉末按比例混合,高压压制成型后高温烧结,实现致密化。该方法可精确控制成分与微观结构,获得高密度靶。
真空熔炼法:在真空环境中熔炼原料,去除杂质和气体,获得高纯度合金靶材。结合后续热锻、冷轧和热处理,可优化晶粒均匀性(晶粒尺寸≤50μm)和氧含量(≤10ppm)。
铜铬锆合金靶材应用领域
电子工业:半导体器件、集成电路的导电层或阻挡层。
显示技术:液晶显示器(LCD)、OLED的电极薄膜。
光伏产业:太阳能电池的导电涂层。
耐磨涂层:工具、模具表面的硬质防护膜。
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