高纯3N5(99.95%)镍铁合金靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!
元素 : NiFe
纯度 : 3N5 4N
形状 : 平面靶材
规格 : 1Kg
包装 : 三层真空包装或充氩气保护,符合IATA、DOT包装规范
所有订单均提供正式发票,另外依据客户需要提供正式报价单和合同
市场参考价格:¥300.00/片左右, 价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!
纯度:3N5
形状:平面靶 旋转靶 异型定制
尺寸: D50.8x3.175mm,76.2x2mm 或者可按要求定制
镍铁合金靶材是一种由镍和铁组成的合金溅射靶材,通常用于磁控溅射镀膜技术中。这种材料在弱磁场中具有高磁导率和低矫顽力,使其在许多应用中表现出优异的性能。镍铁合金靶材广泛应用于电子、半导体和磁性材料等领域。常见成分可分为 35%~40% Ni-Fe 合金、45%~50% Ni-Fe 合金、50%~65% Ni-Fe 合金和 70%~81% Ni-Fe 合金四大类。
镍铁合金靶材性能特点
高磁导率:在较弱磁场下有较高的磁导率,这一特性使其在磁控溅射中具有独特的优势,所制备的镍铁薄膜具有优异的软磁磁性能,可广泛应用于磁记录、电磁屏蔽等对磁性能有要求的领域。
良好的物理性能:具备一定的硬度、强度,以及良好的导电性、导热性,有助于在溅射过程中实现均匀的电流分布和热量散发,从而提高薄膜的质量和均匀性,同时也使其能够承受一定的机械应力和热应力,保证了靶材在使用过程中的稳定性。
结构稳定性:镍含量在 30% 以上的镍铁,在室温时都为单相的面心立方 (γ) 结构,这种结构有助于提高靶材的致密性和稳定性,从而更好地满足溅射镀膜过程中的要求 。但在 30% Ni 附近的单相结构很不稳定,因此实用的镍铁软磁合金,含镍量一般都在 36% 以上。
耐腐蚀性:合金中的镍元素赋予了其一定的耐腐蚀性,使其能够在一些较为恶劣的化学环境或气氛中保持稳定,不易被腐蚀或氧化,延长了靶材的使用寿命,同时也保证了所制备薄膜的质量和性能不受环境因素的影响。
镍铁合金靶材的制备方法
原料准备:选择高纯度的镍和铁作为原料,确保总含量大于99.99%。
熔炼:将原料镍和铁按照预定比例放入真空感应炉中,在高温下进行熔炼,得到镍铁合金熔液。
浇铸:将熔液浇铸到模具中,得到铸锭。
均质化处理:对铸锭进行均质化处理,以消除成分偏析和铸造应力。
热轧和冷轧:对均质化处理后的材料进行热轧和冷轧,以细化晶粒,提高材料的强度和硬度。
退火:对冷轧后的材料进行退火处理,以消除加工硬化和内应力,改善材料的塑性和韧性。
机加工:将退火后的材料进行机械加工,制成所需尺寸和形状的靶材。
镍铁合金靶材应用
电子领域:用于制造集成电路中的薄膜电阻、磁性存储器件的磁性薄膜等,以改善电子元件的性能和稳定性。
半导体行业:在半导体制造过程中,可用于沉积薄膜,起到导电、阻挡、扩散阻挡等作用,有助于提高芯片的性能和可靠性。
磁性材料:制备磁性薄膜,应用于磁传感器、磁记录介质等,例如硬盘的磁头和磁带。
薄膜太阳能电池:用于制备太阳能电池的导电层,有助于提高电池的光电转换效率和稳定性。
平板显示器:用于制造平板显示器中的导电层和电极等部件。
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