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锆(Zr)靶材 ¥700.00


高纯3N5(99.95%)锆靶材,价格以当日报价为准,需联系销售报价!!!


元素 : Zr     

纯度 : 3N5     

形状 : 平面靶材      旋转靶材     

规格 : 1Kg     

包装 : 三层真空包装或充氩气保护,符合IATA、DOT包装规范     

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所有订单均提供正式发票,另外依据客户需要提供正式报价单和合同

商品详情


市场参考价格:¥700.00/Kg左右, 价格仅供参考,如有需要,请咨询报价,以当日报价为准!

纯度:3N5

颜色:银灰色

规格:D100X3mm 或者 按规格定制


高纯锆靶材与其原材料具有相同的性能。其密度为6.49g / cc,熔点为1852℃,在1987℃下的蒸气压为10 -4托。它是一种有光泽、灰白色、强过渡金属,与铪非常相似,在较小程度上与钛相似。锆主要用作耐火材料和乳浊剂,但少量的锆因其抗腐蚀性强而用作合金化剂。锆溅射靶材广泛用于装饰涂层,半导体和光学涂层领域。 


锆靶材关键特性
高纯度:通常要求达到99.95%(3N5)以上,杂质含量极低,以确保镀膜的质量和性能。
高密度:靶材需要尽可能致密,以减少内部孔隙,防止溅射过程中产生颗粒或孔洞,从而提高薄膜的均匀性和结合力。
晶粒均匀:微观晶粒尺寸需要细小且分布均匀,以保证溅射速率稳定和薄膜厚度一致。


锆靶材


锆靶材制备工艺流程

备料 - 电子束熔炼 - 化学分析 - 锻造 - 轧制 - 退火 - 金相检测 - 机加工 - 尺寸检测 - 清洗 - 终检 - 包装


锆靶材成分分析


高纯锆靶材应用

微电子与半导体制造:锆靶材通过溅射技术可形成高纯度、高均匀性的薄膜,应用于晶体管、电容器等关键层次,提高器件性能和可靠性;作为栅极电极材料,能减少电流泄漏,提升电路开关速度;还可作为保护层,防止其他金属层氧化腐蚀,延长电路寿命。
光学和光电领域:用于光学器件表面镀膜,如光学透镜的增透膜、反射镜的反光膜等,提高透光率、反射率和耐用性;在光电器件中,可提升光电转换效率和探测器的灵敏度与精度。
硬质涂层:应用于工具和机械零件表面,提高耐磨性和抗腐蚀性,延长使用寿命,适用于刀具、钻头、泵阀等高磨损、高腐蚀环境。
装饰涂层:可提供多种颜色和光泽,用于建筑、家具、消费电子产品的表面装饰,同时提供保护功能,增强材料的耐用性。